Изучаем новый стеклянный микро

29 декабря 2022 г.

Международного журнала экстремального производства

Исследовательская группа по взаимодействию лазера с веществом в Институте интенсивных лазеров и их применений (CELIA) Университета Бордо, Франция, исследовала новый метод микросверления стекла с использованием фемтосекундного лазера в режиме гигагерцового импульса.

В публикации в журнале International Journal of Extreme Manufacturing исследовательская группа использовала фемтосекундный лазер Amplitude, работающий в режиме гигагерцового импульса, для изучения нового метода микрообработки стекла, который позволяет сверлить удлиненные отверстия без конусов с гладкими внутренними стенками без каких-либо трещин. в стакане. Обычно лазерное сверление стандартными одиночными фемтосекундными импульсами приводит к образованию конических отверстий строго ограниченной длины и шероховатой внутренней поверхности.

Этот новый режим взаимодействия лазера с веществом позволяет напрямую сверлить отверстия с высоким соотношением сторон за один этап без какого-либо химического травления. Было обнаружено, что выбор параметров лазерного импульса очень важен для достижения выдающегося качества микрообработки обрабатываемых структур. Режим фемтосекундного лазерного гигагерцового импульса может проложить путь для новых приложений, таких как микроэлектроника, где кремниевые интерпозеры, вероятно, будут заменены стеклянными интерпозерами.

Больше информации: Пьер Балаж и др., Отверстия с большим удлинением без трещин в стеклах путем ударного сверления сверху вниз с использованием инфракрасных фемтосекундных лазерных импульсов ГГц, Международный журнал экстремального производства (2022). DOI: 10.1088/2631-7990/acaa14